| 微型光谱仪模块，一种微型光谱仪模块的制造方法和调节方法的反射镜的光学谐振腔微型光谱仪模块的距离 |
| DE102017208207 2017-5-16 发明申请 |
| 2018-11-22 |
| 本发明涉及一种微型光谱仪模块(200)构成的光学谐振腔(202)，其具有至少1/1反射镜元件(204)和相对第第一反射镜元件(204)间隔开的第第二反射镜元件(206)。至少一个所述反射镜元件(204，206)在光入射部(218)的光谐振器(202)弯曲的和/或可弯曲的设计。所述的微型光谱仪模块(200)还包括光学元件(226)用于引导光到所述光入射部(218)。 |
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