| 用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统 |
| CN201810800873.9 2018-7-20 发明申请 |
| 2018-12-25 |
| 一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，该系统的连接关系是：主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低帧率图像；低帧率图像通过图像处理软生成对焦控制信号用于控制电机驱动镜头以提高图像的清晰度；同步控制器产生摄像机控制信号、电流采集控制信号和电源控制信号，用以控制高速摄像机，脉冲高压电源和高速电流采集；脉冲高压电源在图像记录部件中的场发射电子源和透明导电层之间施加高压脉冲，并产生场发射电流；高速电流采集将场发射电流数字化产生电流数据。 |
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