| 分光镜 |
| JP2018146064 2018-8-2 发明授权 |
| 2018-10-24 |
| [A]能够抑制检测精度可降解的小型分光仪。分光镜[A]，一种半导体材料构成的基材，该基板具有一内置光学元件的光检测部分，相对于所述基座的所述光电检测器通过所述空间的壁部，和，一体成型的底壁部，所述壁部具有一个固定的光学元件，光检测器，它电连接到所述支撑体上设置的配线，设置在所述底座上表面的侧壁部空间，空间内，反射的光通过所述透光部的光检测器具有光谱的光谱，0次光的光谱反射的光捕获和频谱的0次光的捕获部分，被提供。光谱部分，由沿光栅的形状形成反射膜。图[图1] |
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