| 一种基于MIM波导耦合腔结构的多透射峰等离子体滤波器 |
| CN201810429510.9 2018-5-8 发明申请 |
| 2018-11-6 |
| 本发明公开了一种基于MIM波导耦合腔结构的多透射峰等离子体滤波器，其特征是：主要包括金属膜以及开设在金属膜上的多个狭缝结构单元，这些狭缝结构单元由贯通在金属膜上下表面的多个横向矩形狭缝和多个纵向矩形狭缝组成。其中金属膜下端同一水平上的两个横向矩形狭缝结构单元为波导管的入射管和出射管；金属膜中波导管上方的三个横向矩形狭缝与四个纵向矩形狭缝结构单元构成一个统一整体的谐振腔。本发明的滤波器结构在红外波段内具有可调谐和高透射率的特性并且通过改变结构的相关参数，可以有效调整透射光谱大小与选频位置，使滤波器的输出特性发生改变。其中研究结果表明，最高透射率可以达到93％，每个透射峰的透射率均高达75％以上，其半高宽可以达到10nm以下，品质因数可以高达到122.81。可以通过改变结构相关参数来获取最佳的滤波效果，该多透射峰滤波器器件在应用中具有适用范围广、利用率高、易于集成、应用灵活等优势，因而在全光网络中有着良好的应用前景。 |
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