| 具有应力可分散支撑结构层状光栅干涉仪 |
| US15653945 2017-7-19 发明申请 |
| 2018-5-31 |
| 本发明涉及一种能够用于傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪中的层状光栅干涉仪， 所述干涉仪包括圆形的反射表面，并且设置有包括固定反射镜的固定部分和包括可移动反射镜的可移动部分，所述可移动反射镜以交叉的方式与固定反射镜布置以与固定反射镜形成片状结构， 以及多个驱动臂，分别将驱动单元连接到反射表面的可移动部分，并被配置为响应于由驱动单元施加的驱动力而移动可移动部分，其中，多个驱动臂中的每一个形成为重复预定弯曲形状多次的结构。 |
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