| 原子力显微镜探针装置 |
| CN201810995061.4 2018-8-29 发明申请 |
| 2018-12-21 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针及底座的组合装置，其中探针的微悬臂在其与针尖相对的表面上具有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，吸附件包括真空吸附槽以及吸附面；定位件从吸附面伸出插入台阶孔中并旋转以与台阶孔的台阶面抵接；定位件包括相连的转动杆及转动条，转动条上表面装置有弹性组件；微调结构利用连杆连接转动杆和微调螺母，微调螺母控制微调结构带动定位件移动。本发明的装置能够提高换针效率，避免了脱针和错位，能够对探针微悬臂末端施加固定的作用力，促进了探针微悬臂的灵敏度，提高了测试效果。 |
微信公众号