| 显微拉曼光谱仪的显微拉曼光谱系统 |
| JP2017169124 2017-9-4 发明申请 |
| 2017-11-24 |
| [问题]喇曼激发光波长的拉曼测量样品位置及尺寸小于显微拉曼光谱仪，以及显微拉曼光谱系统。显微拉曼光学系统(100)[a]，在半导体晶片的主表面10，用于检测样品的激光的位置，所述光学系统(10)对样品反射的辐射凸轮130，激发激光的拉曼散射光的光，照射到投影光学系统10的微量试样的，具有。样品10，用于检测激光束的位置，所述半导体晶片(10)从倾斜方向照射到样品表面，激光激发的拉曼散射光，所述半导体晶片(10)照射到样品上垂直于主平面上，微量试样的位置10，暗场显微图像识别的。图[图1] |
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