| 带中心屏蔽部具有小的反射和折射光线的显微镜物镜 |
| JP2018522058 2016-10-25 发明申请 |
| 2018-12-20 |
| 190纳米-1000纳米波长范围的色彩校正动作，前，后平行平面通过主球面反射镜，包括反射镜反射和折射光线的显微镜物镜没有设置。每个镜子，具有反射涂层上形成的环形开口限定的光轴同轴。物镜元件，缺乏[...]，直径小于大约50μm的光场在任何方面，为更多的倍增数]0.0781比例，和/或在轴的球面像差为0.0008或更小，和/或使像散小于0.0005，工作范围内和/或失真小于0.012%，B。图[图3] |
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