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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描探针显微镜频率梳反馈控制

US16116479 2018-8-29 发明申请

2018-12-20

为了满足半导体工业对更精细光刻节点的要求，一种用于扫描探针显微镜的反馈控制方法通过用电磁辐射的锁模脉冲照射结来在隧道结中产生谐波的微波频率梳。利用一个或多个谐波内的功率测量，可以调节隧穿结中的尖端样本距离以获得最大效率，并且当与电阻样本一起使用时避免尖端碰撞。可选地，使用该方法不需要直流偏置。该方法的应用有助于半导体等电阻性样品中载流子分布图像的真正亚纳米分辨率。