| 电子束装置及具备该电子束装置X射线发生装置和扫描电子显微镜 |
| US15919561 2018-3-13 发明申请 |
| 2018-12-20 |
| 一种电子束装置，包括 : 阴极，被配置为发射电子； 阳极，所述阳极是形成电场使得电子束由从所述阴极发射的电子形成的电极，并且所述阳极形成有所述电子束穿过的第一孔； 孔构件，其形成有开口，所述开口遮蔽穿过所述阳极的所述电子束的一部分； 以及会聚电极，该会聚电极是形成电场使得穿过开口的电子束会聚的电极，并且该会聚电极被配置为包括一个单孔电极，该单孔电极形成有电子束穿过的第二孔。 |
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