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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

覆盖量测方法

TW106137603 2017-10-31 发明申请

2018-9-16

一种重叠度量方法，包括：用多色光束照射重叠目标，所述多色光束收集与由重叠光栅目标从多色光束产生的衍射光谱相关联的强度信息；其中衍射光谱将多色光束分成多个衍射光束，所述多个衍射光束中的每一个对应于所述多色光束的相应波长，并且从与所述衍射光谱相关联的所述强度信息生成叠加信息，其中所述叠加信息包括来自不对称引起的叠加误差的贡献。