分光镜
 
JP2018079018  2018-4-17  发明授权

2018-8-29
 
  [A]能够抑制检测精度可降解的小型分光仪。[技术方案]该分光镜1a,由半导体材料衬底24,设置在基板(21)通过部,和光检测部(20)和(22)具有光检测元件内置基板,检测光通过光学元件面对底壁(31)之间的空间部,和,一体成型的底壁部,所述侧壁部分32具有固定的光学元件,光检测器,它电连接的布线(13)上设有支架(30),设置在所述底座上表面的侧壁部空间,空间内,穿过的通光部位(L1)的光的反射光检测部(40)和光谱部分所述谱,被提供。光检测元件,光学光谱和反射的光的光谱部分(0,0(23)还具有光捕获部分,捕获下一个接替l0图[图1]
 
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