| 共焦测量仪 |
| US15846204 2017-12-19 发明申请 |
| 2018-9-6 |
| 一种共焦测量设备(1)，包括光源(10)， 一种光学系统(30)，其被配置为接收来自测量表面的反射光， 光导部分(20)，其中包括第一芯(26)和第二芯(28)的多个芯被构造成通过所述多个芯传播反射光， 偏移量测量部分(40)，包括分光镜(42)和周边图像测量部分(60)，分光镜(42)被配置为将由第一芯体传播的反射光分离成每个波长分量，检测器(44)具有多个光接收元件，所述多个光接收元件被配置为与分光镜的光谱方向相对应，周边图像测量部分(60)被配置为在多个图像拾取元件上形成由第二芯体传播的反射光的图像并生成相对于测量表面的测量位置的周边图像。 |
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