| 紧凑式干涉仪 |
| WOGB18050275 2018-1-31 发明申请 |
| 2018-8-16 |
| 公开了一种紧凑式干涉仪。该干涉仪布置为将输入光束分成第一和第二的梁部分定向在相反方向围绕一种在循环路径上形成干涉图案的衍射光栅。在衍射光栅表示程差的干涉图案横梁部第一和第二之间变化。衍射光栅之间设置有循环路径和探测器第一和第二的梁部分的入射在衍射光栅处的非零角度相对于彼此相互作用，使得在所述检测器衍射的光谱级衍射的光谱级第一的光束部分重合的第二横梁部分上。利用干涉仪提供增加的空间分辨率的衍射光栅进行空间外差。还公开了其它实施例的干涉仪。 |
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