| 基于光谱干涉法的非接触衬底温度测量技术 |
| US15887446 2018-2-2 发明申请 |
| 2018-8-9 |
| 在一些实施例中，一种用于处理衬底的设备包括 : 衬底支撑件，其位于处理室内； 光源，所述光源直接耦合到光隔离器，并且被配置为当设置在所述衬底支撑件上时将入射光传递到所述衬底的第一表面并穿过所述第一表面； 光纤，其具有与所述第一表面间隔开第一距离的第一端和经由耦合元件直接耦合到所述光源的第二端； 光电检测器，经由所述耦合元件直接耦合到所述光纤的所述第二端，并且被配置为接收从所述第一表面反射的第一反射光束和从与所述第一表面相对的所述衬底的第二表面的内边界反射的第二反射光束； 以及信号处理器，用于基于所述第一反射光束和所述第二反射光束来确定所述衬底的温度。 |
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