| 多柱扫描电子显微镜系统 |
| US15616749 2017-6-7 发明申请 |
| 2018-12-13 |
| 公开了一种多柱扫描电子显微镜(SEM)系统。 SEM系统包括源组件。 所述源组件包括配置成产生多个电子束的两个或多个电子束源。 所述源组件还包括配置成致动所述两个或多个电子束源的两组或多组定位器。 SEM系统还包括柱组件。 柱组件包括多个衬底阵列。 列组件还包括两个或多个电子光学列，所述两个或多个电子光学列由键合到所述多个衬底阵列的一组列电子光学元件形成。 所述SEM系统还包括配置成确保样品的平台，所述样品响应于由所述两个或多个电子光学柱引导到所述样品的所述多个电子束中的至少一个发射或散射电子。 |
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