| 相位干涉显微镜 |
| JP2014246504 2014-12-5 发明授权 |
| 2018-12-12 |
| 一种相位差干涉显微镜，包括 : 产生光学系统200，通过分束器250将光源110产生的光600分成照明光610和参考光640； 照明光学系统300，其用照明光610照射分析物130； 测量光学系统400，其通过透镜410对通过分析物130的透射光620和从照明光610的分析物130射出的目标光630进行傅里叶变换，通过空间光调制器420对分析物130的空间频谱给出相位变化，并且再次通过透镜430、440和460对透射光和目标光进行傅里叶变换，以经由合成分束器470照射光接收元件140； 参考光学系统500，其使合成分束器470将参考光640与透射光620和目标光630合成； 以及控制处理系统700，其执行由光接收元件140接收的光的图像处理并使光可视化 |
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