| 一种基于MIM波导技术的CMOS光谱仪 |
| CN201810125866.3 2018-2-8 发明申请 |
| 2018-7-27 |
| 一种基于MIM波导技术的CMOS光谱仪，沿入射光线依次包括：光导纤维；容器皿，盛有溶液，设置于溶液支撑架上；第七金属层，与透过溶液的入射光线耦合；第七金属层的光学壁与第四金属层的光学壁相对设置；金属散射结构；包括设置于第四金属层和第七金属层之间的像素点阵、光盾、光栅结构和MIM波导；从第七金属层的光学壁反射入第四金属层的光学壁的入射光线通过光栅结构和MIM波导散射呈罗兰圆状，罗兰圆与光栅结构的中点相切形成凹面光栅；像素点阵位于第四金属层的光学壁内部；像素点阵上的二极管的点位与罗兰圆的圆弧光相对应。以MIM波导技术和CMOS探测器为基础，实现光谱仪微型化，具有适用范围广，光通损失少，适用寿命长的优点。 |
微信公众号