| 干涉显微镜 |
| JP2017103108 2017-5-9 发明申请 |
| 2018-11-29 |
| [A]是来自于干涉仪的干涉图像，其难以观察的晶体表面精细结构，分离，独立微分干涉显微镜进行观察。因此，晶体生长过程等的再现性或差，不适合高速现象。此外，被更换倍率的麻烦劳动。[解决方案]通过设置微分干涉棱镜干涉仪的光学系统，细晶的表面能够同时测量干扰差分干涉的干涉显微镜观察。此外，即使在所述放大倍数放大，所述物镜透镜的光路中所不可缺少的样品的参考光路，所述光路中的光学误差，光路径和速度之间的差值，所述孔对准光路通过样品，所述放大倍数可以快速。图[图4] |
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