| 分光镜 |
| JP2018077029 2018-4-12 发明授权 |
| 2018-7-4 |
| [A]能够抑制检测精度可降解的小型分光仪。分光镜[A]，半导体材料制成的基板，在基板上设置的透光部，和光检测器，用于检测光检测元件内置基板，所述光检测元件相对于所述基座的壁，和，底座的侧壁部分上整体形成有壁部，所述光检测器电连接到布线提供支撑，底座壁部，其设置在光谱空间侧的表面，被提供。至少一部分的至少一部分的光学元件的端面侧，从厚度方向看时所述底壁，彼此重叠。光检测元件，在空间的底壁部的表面侧的对置侧壁的固定。线第一端1，侧壁部，并电连接到光检测元件的端子。导线第一的一端2，在所述空间的支撑面位于相反侧。图[图1] |
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