| 光谱检测仪 |
| US15858274 2017-12-29 发明申请 |
| 2018-7-5 |
| 本公开的一个实施例提供了一种频谱检查设备。 该装置包括激光源； 聚焦柱面透镜，其被配置为将光束会聚到样品上； 光束收集装置，其被配置为从所述样品收集由所述光束激发的光束信号，以形成条形光点； 狭缝，被配置为接收所收集的光束并将其耦合到光路的下游； 准直装置； 分散装置，被配置为分散所收集的光束，以形成具有不同波长的多个子光束； 成像装置，被配置为将子光束分别成像在所述光子检测器阵列上，其中从所述激光源发射的光束具有矩形截面，所述条形光点入射到所述狭缝上并且其长度小于所述狭缝的长度。 |
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