| 像差测量中的带电粒子显微镜 |
| EP18159059 2018-2-28 发明申请 |
| 2018-9-5 |
| 操作带电粒子显微镜的方法包括以下步骤 : 提供一样品试样架上；使用带电粒子源，产生一束；过所述横梁通过一种照明装置，包括 : ?光源透镜，光轴与相关联的颗粒；?冷凝器孔，其设置在所述光源透镜和标本，并构造成限定覆盖所述束所述样品中；-与来自所述照明器的光束照射样本；用一个检测器，用于检测从样品发射的辐射响应于所述辐照，和产生关联图像，具体包括以下步骤 : -选择所设定的来自所述光源的发射角；对于每个所述组的射出角度，选择从所述源发出对应的子光束的发射角，和存储由副光束的测试图像，从而编辑一组所述组的发射角度对应的测试图像；分析所述一组测试图像的评价照明装置像差之前，生成所述聚光器孔径。 |
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