| 用于原子力显微镜探针与光学机械谐振器，和包含该探针原子力显微镜 |
| WOEP18051360 2018-1-19 发明申请 |
| 2018-7-26 |
| 本发明涉及一种用于原子力显微镜探针(100)包括光学机械谐振器(102)和探针尖端(103)的突出于所述谐振器，所述谐振器耦合到光学装置被配置为发射的光束入射到谐振器以及来自所述谐振器接收光束。LMLC光学谐振器包括本体被配置来共振的体积中的机械振动模式和体积光学振动模式，所述光学振动方式耦合到所述机械振动的谐振模式，从而使机械变形在机械振动模式中的光透射状态的变化引起的光学振动模式，它可以改变出射光束。 |
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