| 扫描电子显微镜和样品通过扫描电子显微镜观察方法 |
| WOJP17001355 2017-1-17 发明申请 |
| 2018-7-26 |
| 本发明实现了一种扫描电子显微镜能够消除静电电荷的积累，在侧深孔/槽壁和底部检查和测量的高精度深孔/槽内。由此，在扫描电镜，其具有 : 电子源(201)发射初级电子；样品台(213)，其上放置样品；偏转器(207)使通过一次电子在样品上扫描；物镜(203)，其使一次电子在样品；以及检测器(206)，其检测作为结果产生的二次电子照射所述样品与原电子；进行控制，使得，在第第一期间，在该一次电子照射的样品，电位施加到所述样品台相对于电位具有负极性的应用物镜，而在第二周期中的样品不照射一次电子，电位施加到所述样品台相对于电位具有正极性的应用物镜。 |
微信公众号