产业专利数据
 
该光检测器扫描显微镜
 
JP2016210742  2016-10-27  发明申请
2018-5-10
 
  [问题]为了理解，通过判断异常sspd用户的操作，防止异常状态继续使用。物体包括光检测器，用于检测来自sspd X[解决方案]20，光检测器(20)检测状态值的状态值的传感器(21)，22，传感器状态的值为21，22超出预定允许值时所述光探测器3和5状态的检测值具有报告。图[图1]
 
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