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产业专利数据

电子能谱仪

US15639477 2017-6-30 发明授权

2018-6-12

一种半球形分析器类型的带电粒子光谱仪，用于分析粒子发射样品，所述光谱仪包括至少第一机构，所述第一机构被配置成在与粒子束的偏转同步的坐标方向上相对于所述样品点和所述分析器入口之间的轴移动所述透镜的至少一部分。