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计量扫描探针显微镜

US15798941 2017-10-31 发明申请

2018-5-10

本发明涉及一种计量扫描探针显微镜系统，其结合SPM和另一SPM，SPM使用光杠杆装置间接测量探针的位移，另一SPM通过使用干涉检测方案直接测量探针的位移。