| 一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统 |
| CN201720884376.2 2017-7-20 实用新型 |
| 2018-6-5 |
| 本实用新型公开了一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统，核心部件采用MEMS工艺设计而成，体积小巧，易于批量化生产，便于封装。由于采用了干涉型光路，更易于测量振动，灵敏度更高，整个系统通过光纤传导可以实现远距离的振动测量，可以作为传感器节点进行多点布控。作为光谱仪使用相比于传统的扫描装置，可以实现更大行程的扫描，提高光谱的分辨率。对气体分析以及其他固体物质分析的准确度均有很大提高，因此具备良好的应用前景。 |
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