| 扫描探针显微镜及其控制方法 |
| JP2016188803 2016-9-27 发明申请 |
| 2018-4-5 |
| [A]中的连续拍摄模式，测量时间可以小于重复传统扫描探针显微镜成像。[解决方案]在扫描探针显微镜10，探头11，12和XY扫描器，所述扫描器(13)Z，XY扫描器12和13受控于样品表面的三维形状图像22本发明提供扫描仪控制部(19)。所述控制单元(19)，在重复图像的连续拍摄模式，基于图像所获得的图像在过去，探针和探针(11)的驱动轴(11)用于下一个扫描方向的扫描条件确定至少一个Z，Z扫描仪12和13控制所述XY扫描器扫描条件确定下一图像重复地执行。图[图1] |
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