| 扫描探针显微镜 |
| JP2016166049 2016-8-26 发明申请 |
| 2018-3-1 |
| [A]以下步骤 : 样品具有精细图案的表面形状可以获得陡峭的，可提高可靠性，并通过扫描探针显微镜可降低成本。根据本发明，使用[a]1是扫描探针显微镜所述观察装置(2)，观察单元(2)提供，在三维方向可伸缩扫描器(3)，扫描仪(3)上设有悬臂4，悬臂尖端(4)在4，6和7紧靠取样探头，被提供。所述探针(7)，6(6)；在样品表面成直角。所述悬臂(4)，形成于反射面20，反射面20，样品6的表面6倾斜。图[图1] |
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