| 一种扫描探针显微镜测量样品架上,利用扫描探针显微镜 |
| JP2017124393 2017-6-26 发明申请 |
| 2018-3-1 |
| [问题]在各种测量,利用扫描探针显微镜各种形状的试样,探头扫描面保持平行的测量面,能够准确测量技术。[解决方法]一种测量扫描探针显微镜样品的方法,具有样本样品架面受压向上从所述样品中的开口的开口部暴露在压制过程中,样品被压靠在所述样品台的样品支架接地,所述的主表面上的暴露表面由扫描步骤扫描探针显微镜样品台样品暴露表面相互平行,与使用扫描探针显微镜扫描探针显微镜测量样品用样品架或与其相关联。图[图4] |