| 方法和设备用于从半导体纳米颗粒检测分析室部件 |
| WOUS17060404 2017-11-7 发明申请 |
| 2018-5-11 |
| 方法和设备用于识别半导体清洗液中的杂质，包括 : 一种半导体清洗液接触，与半导体制造组件以形成流出物包括一种或多种不溶于水的分析物的核苷酸；所述流出物包括一种或多种不溶于水的分析物接触-光学装置被配置为感测与感兴趣的荧光，任选地，拉曼信号可以从一个或多个感兴趣的分析物的不溶性，所述装置包括电子倍增电荷耦合器件和分散光栅光谱仪，光谱荧光，工程的电子倍增电荷耦合器件上的荧光；识别一个或多个感兴趣的被分析物。 |
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