| X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统 |
| CN201711445064.2 2017-12-27 发明申请 |
| 2018-4-20 |
| 本发明涉及的是一种波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的关键功能部件，特别涉及一种用于波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统。该系统通过成像模块精确定位待测样品表面区域，驱动样品移动到指定位置，进行能谱全元素分布分析和波谱单元素分布分析，经过数据定性定量分析模块将能谱数据与波谱数据结合，得到样品表面待测区域的元素含量的分布分析信息，通过数据图象处理模块建立二维和三维数据模型并显示。本发明将能谱快速扫描与波谱对重点区域精细扫描相结合，对样品进行快速高精度定位分析，提高分析速度和分析灵敏度，将常规分析与元素分布分析相结合，波谱与能谱相结合，拓展了WEDXRF光谱仪应用领域。 |
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