| 并行、独立驱动和同时驱动的模块化扫描探针显微镜阵列的耦合多尺度定位，用于柔性、大面积和卷到卷过程的高通量、在线、纳米级测量 |
| US15994616 2018-5-31 发明申请 |
| 2018-12-6 |
| 本文公开了用于在线纳米级计量的装置、系统和方法。 一种系统包括具有集成致动器的单片挠曲机构，所述集成致动器允许包括一个或多个扫描探针的结构在两个轴线上以极高精度移动和定位。 该结构被悬挂以防止来自样品的任何破坏性干扰，该干扰可以是静止的或以非零速率移动的，并且在机械行为上是刚性的或柔性的。 该系统可以在启动时启动，并快速启动结构以接近样品表面。 一旦系统在一个或多个探针和样品之间达到所需的接近度，无论任何干扰，系统都将结构的该位置保持在高精度的程度。 该阵列可以以变化的速度横向移动，以匹配任何连续移动的衬底的速度，从而能够扫描移动的衬底。 |
微信公众号