| 一种集成式红外带通滤波器及其制造方法和光谱仪 |
| CN201710904311.4 2017-9-29 发明申请 |
| 2018-4-10 |
| 本发明公开了一种集成式红外带通滤波器及其制造方法和光谱仪。该集成式红外带通滤波器包括一金属层，所述金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过微米或纳米金属孔的光的特征波长λmax满足以下公式：这里，a表示金属孔的排列周期，i和j表示与阵列散射阶次相关的整数，εm和εd分别表示金属和介电材料的介电常数。本发明的集成式红外带通滤波器可以将大量选通红外波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工大规模集成在很小的芯片上，具有高集成度的优点。 |
微信公众号