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原子力显微镜的探针制造探针和方法

WOUS18035119 2018-5-30 发明申请

2018-12-6

制品和方法涉及扫描探针显微镜的探针一般是设置。一种扫描探针显微镜探针可以包括芯片，机械共振器连接到芯片，一种末端附接至所述机械共振器，手柄和手柄连接到所述芯片可以具有至少5的长度和平均厚度小于或等于500微米。所述探针还包括绝缘涂层覆盖所述芯片，所述手柄。