| 一种光谱仪，光谱仪和制造方法 |
| JP2017225826 2017-11-24 发明授权 |
| 2018-3-14 |
| 要解决的问题：提供一种抑制检测精度下降、且能够实现小型化的分光器以及提供该分光器的制造方法.解决方案：一种分光器，其具备：光检测单元，其具有光通过部和光检测部； 支撑体，所述支撑体固定到所述光检测单元，使得形成空间； 布线，其设置在所述支撑体中； 第一反射部，所述第一反射部设置在所述支撑体中，并且在所述空间中反射通过所述光通过部的光； 分光单元，其设置在所述光检测单元中，并且在所述空间中分光并反射在所述第一反射部上反射的光； 以及第二反射部，所述第二反射部设置在所述支撑体中，并且在所述空间中反射由所述分光单元分光并相对于光检测部反射的光。 所述光检测单元与所述配线电连接，所述光检测部设置于所述光检测单元所具有的基板中的空间侧的面，并内置于由半导体材料构成的所述基板中。 分光单元设置在基板中的空间侧的面中.所选附图：图1 |
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