| 快速扫描的扫描探针显微镜扫描器及其操作方法 |
| EP08743961 2008-3-17 发明授权 |
| 2018-11-28 |
| 本发明提供了高带宽SPM针尖，它还包括物镜，其垂直地移动，在该扫描头部上增加用于感测光线的聚焦深度。可移动光学系统也优选地设置成可靶向的感测光线在SPM的探针以及允许感测光线在扫描期间跟踪探针。所述标定和跟踪允许的冲击下小的传感光束点在探头直接的可视化检查光学显微镜的照明光束的聚焦集成到SPM，其结果是，允许使用较小的悬臂的谐振频率成比例地小。一种高带宽尖扫描仪以这种方式构造具有基本谐振频率大于大于500赫兹和传感光束点的短径小于10μm。大样本上进行扫描的图像具有与分辨率超过7的最大尺寸小于1埃，并可在扫描速度超出30赫兹。 |
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