| 一种保护探头的扫描电镜试样台 |
| CN201810616807.6 2018-6-15 发明申请 |
| 2018-11-27 |
| 本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台，包括试样台缓冲装置和试样台底座，试样台底座连接电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上；试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件，当由于人工操作失误使得试样与探头发生碰撞，试样台缓冲装置会起到缓冲的作用，弹簧会吸收在发生碰撞时的大部分碰撞能量，转换为弹簧的弹性势能，从而避免了出现刚性碰撞而导致探头直接损坏。 |
微信公众号