一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置
 
CN201820702717.4  2018-5-11  实用新型

2018-11-27
 
  一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置,属于实验设备制造技术领域。包括样品座主体、垫片、圆柱弹簧和螺丝;样品座主体上部有水平卡槽,槽内放置垫片,底部有圆坑,圆柱弹簧放置在圆坑内,圆坑底面中心开孔,有内螺纹,与螺丝配合连接。优点在于,操作简单,彻底解决了切割加工、制备不当等造成的试样检测面倾斜问题,确保了扫描电镜夹杂物自动统计分析的可靠性。
 
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