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一种光谱仪检测晶圆专用夹具

CN201721060634.1 2017-8-23 实用新型

2018-2-23

本实用新型涉及一种光谱仪检测晶圆专用夹具；包括基座和竖直的夹面，还包括由上往下依次固定连接有与夹面配合夹紧晶圆的夹片、弹性支撑杆、金属活动软管、固定杆、限位座和螺丝；所述基座设有螺丝孔，所述螺丝与所述螺丝孔相配合连接；本实用新型通过改变夹具的结构，释放了更多的空间，可以检测更大的物件。