| 用于产生多通道可调谐的照明系统和方法从宽带光源 |
| WOUS17046084 2017-8-9 发明申请 |
| 2018-2-22 |
| 测量系统包括照明源，用于产生照明光束，一种多通道光谱滤波器，聚焦元件从单一个光学列的光导引到样品，和至少一个检测器捕获收集从样品的照明。所述多通道光谱过滤器包括两个或两个以上的过滤通道具有两个或多个信道的光束路径上。所述两个或更多个过滤器的过滤通道照明两个或多个信道的光束路径上传播的基于二以上的光谱透射率分布。所述多通道光谱滤波器还包括一个信道选择器，用于引导至少一部分照明光束为至少一个选择的滤波通道滤波器的照明光束。所述多通道光谱滤波器还包括至少一个光束合并器，用于合并从两个或多个照明一种单一个光学列的过滤通道。 |
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