| 高分辨率扫描电子显微镜 |
| KR1020170060372 2017-5-16 发明申请 |
| 2018-11-27 |
| 本发明涉及减少样品与用于观察样品的检测单元之间的距离和高分辨率，能够简化的高分辨率扫描电子显微镜需要电子束对准中心以形成第二机构。 公开了编号。 本发明的用于同一真空出口的高分辨率扫描电子显微镜包括电子束源和非真空电子束的光学部分，所述电子束源和非真空电子束的光学部分通过在扫描电子显微镜样品屏中观察到的出口面朝向样品表面， 真空室和具有形成上部真空吸附板的凹部的底面防止了真空的产生， 一种上真空吸附板，由下真空吸附板和下真空吸附下自由端可拆卸配合的真空室非真空区分隔空间真空吸附，聚焦电子束通过包括薄膜膜。 |
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