| 一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置 |
| CN201810640952.8 2018-6-21 发明申请 |
| 2018-11-23 |
| 本发明涉及一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置，属于分析仪器技术领域。该装置由起偏模块和检偏模块组成。起偏模块包括反光镜、旋转轴、起偏镜、载物台和柔性导光束等。反光镜、下基座与旋转轴均与蓝宝石基片粘合固定在一起。起偏镜与带有刻度上基座粘合固定在一起。通过旋转上基座来调节偏振光角度。带有观察孔的载物台用于承载试样，且保证偏振光通路。检偏模块包括检偏镜、下套筒、上套筒和防滑套。本发明偏振光加载装置结构简单，造价低廉，无振动噪声，可直接替换压电力显微镜原有载物台使用，不会对压电力显微镜的测量精度造成影响。配合压电力显微镜现有的反射光学显微系统，能够实现正交偏振光显微与压电力显微的原位观测。 |
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