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产业专利数据

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电子显微镜中的像差的测量和控制

WOIB18053241 2018-5-10 发明申请

2018-11-22

电子显微镜的系统和方法的电子显微镜像差测量系统被公开。过滤器的孔的电子束在衍射面具有通过电子的电子显微镜所选择的能量和动量。通过该电子图像的位移测量在图像平面中检测器的电子显微镜。电子显微镜像差系数确定从所测得的位移和至少一个能量并通过电子的动量。可用于改变参数测量的像差的光学元件的光学显微镜或电子显微镜电子显微镜，从而控制整个电镜的像差。