| 扫描探针显微镜系统和样品表面上的纳米结构的方法 |
| EP17171030 2017-5-15 发明申请 |
| 2018-11-21 |
| 本发明涉及扫描探针显微系统的映射的表面上的纳米结构的方法样品。所述系统包括样品支架结构，扫描头包括探针包括悬臂和探针，和致动器，用于相对于样品表面扫描探针针尖。该系统还包括光源，和传感器单元，用于获取传感器的信号和表示所述探针吸头的位置。所述传感器单元包括部分反射元件反射的参考分数和用于传输一感测部分光信号。该方法还包括将定向光学器件，用于感测级分作为光束引导向探针，和用于接收反射部分，以提供一感测信号。此外，该传感器包括一干涉仪用于提供一个或多个输出信号，和信号输送的光学感测信号和参考信号输送至该干涉仪。定向光学装置被配置为用于将感测部分的至少一部分是传感部分所述探针针尖，例如反射形成的反射部分。 |
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