显微镜光路系统、显微镜及校准方法、装置、设备及介质
 
CN201810680307.9  2018-6-27  发明申请

2018-11-16
 
  本发明实施例公开了显微镜光路系统、显微镜及校准方法、装置、设备及介质,所述系统包括:光源、起偏模块、分束镜、物镜、检偏模块、物镜电荷藕合器件CCD图像传感器;其中,起偏模块、光源与分束镜在同一水平线上;起偏模块位于光源与分束镜之间,用于将光源发出的光束调制成特定的偏振态;检偏模块、分束镜、物镜以及CCD图像传感器在同一竖直线上;检偏模块位于分束镜与CCD图像传感器之间,用于对分束镜透射的光进行检偏。本发明实施例的技术方案实现提供一种固化的测量装置,避免对穆勒矩阵测量系统中的旋转对称性造成破坏,便于提取测量样品中的角度无关参量。
 
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