| 扫描电子显微镜和扫描电子显微镜二次电子的检测方法2 |
| JP2017084263 2017-4-21 发明申请 |
| 2018-11-15 |
| [问题]扫描电子显微镜和扫描型电子显微镜二次电子的侦测方法2，样品的低真空范围中产生次级电子的加速电压施加到所述表面上为在垂直于排出口2的方向，提高检测的信噪比运行范围内工作；物镜8和11之间的电子束穿过样品[A]，所述气体通过孔9中，并没有要小很多，样品11，样品室10含有规定的压力保持装置和预定的压力，所述预定样品和样品之间施加偏置电压的电压施加装置(13)上设置带小孔，样品11的样品13从孔9中发出的二次2施加电压的电压施加装置向加速孔(9)，孔9的小孔2从试料(11)发射的二次电子的偏流，通过，通过检测到的二次电子的二次电子检测器6的2，2，2，以增加比二次电子探测器。图[图1] |
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