| 一种多重周期的光子晶体纳米裂缝表面等离子体共振光栅 |
| CN201710572595.1 2017-7-11 发明申请 |
| 2017-11-24 |
| 本发明涉及一种多重周期的光子晶体纳米裂缝表面等离子体共振光栅，属于光学衍射光栅检测领域。该光栅结构从上至下，依次由金膜层，氮化硅材料层和玻璃底片组成。刻蚀的光栅线通过小周期p和大周期P周期性地有规律排列。小周期p即小间距的相邻间隔光栅线之间的距离420nm，便于产生表面等离子体共振；大周期为五条光栅线的距离2100nm，移除其中一条小周期光栅线而形成，便于将表面等离子体共振波进行衍射和角色散。光源经过玻璃层和氮化硅层在金膜层处产生表面等离子体共振，其共振波的一级衍射被CCD检测。本发明在光学，生化传感等检测领域中将有极大的作用，比传统的光谱检测方法更简便全面，减少了生物传感器的成本和仪器尺寸。 |
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