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扫描探针和电子显微镜探针及其制造

US16041731 2018-7-20 发明申请

2018-11-15

介绍了扫描探针显微镜(SPEM)探针头的经济制造方法。在该方法中，多根导线安装在台架上并同时进行离子研磨，同时台架和安装的探针相对于离子源以选定的角度倾斜并旋转。还描述了所得到的探针。该方法提供具有可控性质的高度均匀的探针尖端组，用于稳定和精确的扫描探针和电子显微镜(EM)测量。